国产离子注入机拿下亿元订单，万业企业半导体业务商业化加速
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2020-12-05 01:07
近日，万业企业在A股收盘后发布公告，宣布公司控股孙公司北京凯世通拟向公司关联方芯成科技（绍兴）出售3款12英寸离子注入机，总交易金额人民币1亿元（含13%增值税）。万业企业公司副总经理周伟芳表示，这是公司首个亿元离子注入机订单，有利于公司集成电路业务的进一步商业化。
资料显示，在晶圆制造中，总共有七大关键环节，分别是扩散(Thermal Process)、光刻(Photo- lithography)、刻蚀(Etch)、离子注入(Ion Implant)、薄膜生长(Dielectric Deposition)、抛光(CMP，即化学机械抛光)、金属化(Metalization)。同样，晶圆制造也对应的需要七大类的生产设备，包括：扩散炉、光刻机、刻蚀机、离子注入机、薄膜沉积设备（包括PECVD、LPCVD、ALD等）、化学机械抛光机、清洗机。其中，离子注入机也正是晶圆制造中的关键装备之一。
由于离子注入机领域存在较高竞争壁垒，技术集中度较高，目前主要由美国厂商所垄断。数据显示，在离子注入机市场，美国应用材料（AppliedMaterials）、亚舍立（Axcelis）合计占据全球85%-90%的市场。根据中国国际招标网数据显示，中国本土主要晶圆产线的离子注入机国产化率仅为1%。
万业企业旗下的凯世通是全球唯一一家全领域离子注入机提供商，产品覆盖集成电路、光伏、AMOLED领域。而此次凯世通集成电路离子注入机获得客户多款设备采购，表明国内客户对凯世通低能大束流离子注入机、高能离子注入机进入全面商用化的认可。
根据公告显示，凯世通出售的3款12英寸集成电路设备包括1台低能大束流重金属离子注入机、1台低能大束流超低温离子注入机以及1台高能离子注入机。按照总交易金额1亿人民币来算，扣除增值税后，设备均价在2900万元左右。
据周伟芳介绍，目前国际上同类设备中，低能大束流离子注入机价格大概在3000至3500万，高能大束流价格大概在6000至6500万，相比之下，凯世通离子注入机具有价格优势。万业企业在公告中还透露，目前大束流离子注入机组装已完成80%；其他两款设备处于采购零部件阶段。由于相关零部件供应商和订单已经确定，因此成本上不会再受上游价格波动影响。
周伟芳进一步表示，公司的着力点在于提供能够满足客户需求的产品性能，更看重的是工艺水平研发，不以价格为考量，本次交易的设备性能在国际上属于主流水平，可用于12英寸成熟工艺上。
至于此次订单涉及关联交易，周伟芳回应表示，主要系公司大股东的作为产业基金机构投资了众多集成电路公司，董事有所重合，所以不可避免地形成了关联交易，但事实上双方此前并无业务关联。
方正证券表示，凯世通的多款12英寸晶圆的例子注入机的验证及销售，将会增强公司在集成电路装备领域核心竞争力，同时进一步丰富扩大凯世通产品的覆盖范围和供货能力，从而更迅速地向全球芯片制造工厂提供产品。随着下一代工艺设备完成验证以及商用推进，国内半导体设备制造商有望进行新一轮晶圆制造投资，凯世通的离子注入机在国内市场的需求有望持续增长，获得更具成长性的市场空间。
作为凯世通的母公司，万业企业虽然依靠房地产起家，但是早在2018年就通过收购凯世通切入半导体产业。同时，万业企业还通过入股上海半导体装备材料基金，投资飞凯材料、精测电子、长川科技等，以外延并购+产业整合的方式布局半导体设备领域。值得一提的是，万业企业的最大股东是上海浦东科技投资公司，第三大股东则是国家大基金，都是国产集成电路产业的主要推手。
编辑：芯智讯-浪客剑
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