12亿美元！中芯与ASML达成新的设备采购协议，会有EUV光刻机吗？

3月3日晚间，中芯国际通过港交所发布公告，宣布公司已于2021年2月1日，就购买用于生产晶圆的阿斯麦（ASML）产品与ASML上海公司签订了经修订和重述的采购协议，根据购买的ASML产品定价计算，该协议购买ASML产品的总代价约为12亿美元（约合人民币77.6亿元）。

根据该协议，中芯国际将先行向ASML支持30%的预付款，余款将于产品交付时支付。

从采购金额来看，12亿美金够买十多台先进的DUV光刻机，即便是1.2亿美金一台的EUV光刻机，也能卖个10台左右。

根据公告显示，ASML批量采购协议的期限从原来的2018年1月1日至2020年12月31日延长至从2018年1月1日至2021年12月31日。中芯国际根据批量采购协议已于2020年3月16日至2021年3月2日的12个月期间就购买用于生产晶圆的ASML产品与ASML集团签订购买单。

也就是说，此次的协议是此前采购协议（2018年1月1日至2020年12月31日）的延长，延长至2021年12月31日。换句话来说就是，这是一个覆盖了2018-2021年三年间的采购协议，并且公告显示，在2020年3月16日至2021年3月2日的12个月期间，已经在执行购买协议。 

所以，这个12亿美元的采购并不是全新的采购订单，只是之前签订的采购协议的延期和重新修改，之前已经完成了部分的采购。

而且，这个采购协议里可能还包含了之前2018年采购的那台至今未交付的EUV光刻机的订单的延期。

早在2018年5月，中芯国际就向ASML订购了一台最新型的EUV光刻机，原计划在2019年初交付。但是由于美国方面的阻挠，ASML一直未能收到荷兰政府颁发新的许可证，这也导致了ASML一直无法向中芯国际交付EUV光刻机。

不过由于中芯国际订购的EUV光刻机迟迟无法拿到许可，该订单也有可能已经取消或替换成了等价的DUV光刻机，毕竟在美国的阻挠下，今年年内可能还是难以实现EUV光刻机的交付。

此前，ASML的CFO在财报会议的视频采访中表示：如果宽泛地理解相关规则对AMSL的整体意义，ASML将能够从荷兰向中国客户（包括中芯国际）提供DUV光刻系统，且无需出口许可证。不过，如果涉及直接从美国运往此类客户的零件或系统，ASML则需要为此申请出口许可证。

即便中芯国际未来能够拿到EUV光刻机，由于美国的禁令，限制对于中芯国际供应10nm及以下工艺所需的美系半导体设备，这也使得中芯难以对7nm以下制程实现量产突破，毕竟半导体生产并不只是靠光刻机就行的。未来，中芯国际可能还是要依靠与国产及非美系设备厂商在先进制程上的协作来突破。

编辑：芯智讯-林子