传ASML DUV光刻机交付受阻，中芯国际后续扩产计划将受影响
2021年11月6日消息，据台湾经济日报报道，大陆晶圆代工龙头大厂中芯国际虽然计划在深圳、上海等地进行扩产，但是今年3月中芯国际与荷兰光刻机大厂ASML（艾司摩尔）签约购买用于成熟制程所需的深紫外光（DUV）光刻机设备订单至今仍没有下文，随着最后期限的临近，恐怕这笔订单将要跳票，使得中芯国际计划2023年陆续开出的新产能也变得岌岌可危。
去年9月底，中芯国际就遭美国进行出口管制，随后又于2020年12月遭美国商务部列入实体清单，并明确禁止美国设备厂商向中芯国际出口可用于10nm以下先进制程的设备，导致中芯国际采购美国半导体设备受限，同时部分基于美国技术的非美系半导体设备供应似乎也受到了进一步限制。
今年3月1日，业内传出消息称，中芯国际已获得部分美国设备厂商供应14nm及以上成熟制程设备的供应许可，并且中芯国际之前一直有申请但未获通过的一类关键设备（用于14nm），此次也获得了通过。
随后在今年3月3日晚间，中芯国际通过港交所发布公告，宣布公司已于2021年2月1日，就购买用于生产晶圆的ASML产品与ASML上海公司签订了经修订和重述的采购协议，根据购买的ASML产品定价计算，该协议购买ASML产品的总代价约为12亿美元。
根据该协议，中芯国际将先行向ASML支持30%的预付款，余款将于产品交付时支付。从采购金额来看，12亿美金够买几十台先进的DUV光刻机，即便是当时最贵的超过1亿美金一台的EUV光刻机，也能买个10台。当时外界有网友也以为该采购的是包括产先进制程芯片的EUV光刻机。不过中芯国际随后澄清，这批订单仅为DUV光刻机。
根据公告显示，ASML批量采购协议的期限从原来的2018年1月1日至2020年12月31日延长至从2018年1月1日至2021年12月31日。并且，中芯国际根据批量采购协议已于2020年3月16日至2021年3月2日的12个月期间就购买用于生产晶圆的ASML产品与ASML集团签订购买单。
然而，就在中芯国际宣布与ASML达成批量设备采购延长协议之后，当地时间3月19日，美国共和党众议员麦考尔（Michael McCaul）和鲁比奥（Marco Rubio）联合致信美国商务部长雷蒙多（Gina Raimondo）称，基于中芯国际协助中国大陆追求“取代美国在全球的领先地位”方面发挥的作用，为保护美国的国家安全利益，要求拜登政府劝说荷兰政府阻止ASML出售DUV光刻机卖给中芯国际，并且还须与盟国达成协议，统一出口限制和许可权，限制类似DUV和EUV光刻等技术设备的出售。
根据台湾经济日报近日的报道，目前中芯国际根据该订单向ASML购买的DUV光刻机仍未交货，而随着该采购协议最后期限2021年12月31日的临近，恐怕这笔订单将要跳票，从而危及中芯国际的扩产计划。
去年12月，中芯国际宣布携手大基金二期和亦庄国投订立合资合同以共同成立合资企业——中芯京城集成电路制造（北京）有限公司（以下简称“中芯京城”），计划总投资497亿元，建设一座12吋晶圆厂，聚焦28nm及以上成熟制程工艺。将分两期建设，一期项目建设规模约24万平方米，包含 FAB3P1 生产厂房及配套建筑、构筑物等，计划于2024年完工，建成后将达成每月约10万片12英寸晶圆产能。二期项目将根据客户及市场需求适时启动。目前，中芯京城一期项目正在建设中，已于今年2月底完成打桩，预计2024年完工。
今年3月17日，中芯国际又宣布在深圳扩产成熟制程，将与深圳政府（透过深圳重投集团）（其中包括）拟以建议出资的方式经由中芯深圳进行项目发展和营运。依照计划，项目的新投资额估计为23.5亿美元，中芯国际将通过子公司中芯深圳开展新项目的发展和营运，重点生产28nm及以上的集成电路和提供技术服务，旨在实现最终每月约40000片12吋晶圆的产能。预期将于2022年开始生产。
今年9月3日，中芯国际又发布公告，宣布已与中国（上海）自由贸易试验区临港新片区管理委员会（以下简称临港管委会）签署合作框架协议，将在上海临港自由贸易试验区（以下简称“临港自贸区”）共同成立合资公司，投资88.7亿美元兴建一座月产能10万片的12吋晶圆厂，主要聚焦于提供28nm及以上技术节点的集成电路晶圆代工与技术服务。
以上三个扩产项目，扩产总产能高达每月24万片12吋晶圆。虽然目前这些扩产项目还处于进行基建，或还在规划当中，但是要顺利按时按规划产能量产，就需要采购足够多的半导体设备，并按规划时间进行交付和安装。
如果晶圆制造的关键设备——ASML的DUV光刻机的交付受限，无疑将严重影响中芯国际的扩产计划。
值得注意的是，据澎湃新闻报道，在近日召开的第四届中国国际进口博览会上，ASML全球副总裁、中国区总裁沈波表示，目前ASML EUV光刻机确实无法对中国（大陆）客户供货外。
早在2018年5月，中芯国际就向ASML订购了一台最新型的EUV光刻机，当时价值高达1.5亿美元，原计划在2019年初交付。但是由于美国方面的阻挠，ASML一直未能收到荷兰政府颁发新的许可证，这也导致了ASML一直无法向中芯国际交付EUV光刻机。
沈波表示，公司对向中国出口集成电路光刻机持开放态度，在法律法规框架下全力支持。除了EUV光刻机之外，其他产品都可以正常向中国（大陆）客户发货。从最近几年看中国市场占ASML全球光刻机销量的三成左右，在中国的装机量已经接近1000台。
不过，沈波并未透露目前ASML的DUV光刻机对中芯国际的交付是否会受到美国禁令或美国政府施压的影响。
另据沈波介绍，由于缺芯导致的这一轮晶圆制造扩产周期对ASML光刻机交货有所影响，有的产品交付期较以往翻倍。目前ASML已经在扩大产能，并运用公司的安全库存提升交货，但由于产业链太长，因为几千家供应商要配套提供85%的零部件，所以暂时还没有办法完全满足用户需求。
目前还不清楚台湾媒体报道的中芯国际向ASML订购DUV光刻机订单至今仍未交付的消息是否属实。即使该消息属实，那么到底是因为美国禁令或者是美国政府的阻挠导致的，还是因为ASML的DUV光刻机交期延误造成的，也有待进一步确认。
但不管怎么样，如果中芯国际订购的DUV光刻机真的迟迟无法交付的话，那么必然会对其后续的大规模扩产计划造成严重不利影响。
编辑：芯智讯-浪客剑
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