研究框架:芯片光刻机(2023)

智能计算芯世界

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2023-09-21 20:22

光刻为IC制造核心工艺,光刻技术的演进成就了摩尔定律。


光刻机由三大核心系统,数万个零件组成,是产业链各环节顶尖公司通力合作的成果。


1)光源方面,DUV采用准分子激光器,技术掌握在Cymer和Gigaphoton手中,国内科益虹源打破垄断;EUV光源是通过高功率CO2激光器轰击Sn滴而来,高功率激光器为核心组件。

2) 光学系统是光刻机分辨率成像的保证,由照明系统和物镜系统构成,照明系统优化成像过程,实现分辨率增强,投影物镜系统将掩模图形聚焦成像,ZEISS为ASML关键光学元件独供商,国内技术水平仍有较大差距。

3)双工件台系统有效提高了光刻精度与效率,国内华卓精科和清华大学团队走在前列。



光刻工艺的重要性愈发凸显,市场规模快速增长,预计2024年有望达230亿美元,ASML在高端市场一枝独秀。2022年中国大陆光刻机进口约40亿美元,主要从日本、荷兰进口,出口管制下光刻机存在断供隐忧,自主可控势在必行。


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