这款30年前问世的光刻机至今仍在使用，助力ASML登上光刻机龙头宝座
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2021-05-21 06:49
5月17日消息，不论是极紫外(EUV)光刻机或是深紫外( DUV)光刻机，都是当前芯片制造不可或缺的关键设备。而在光刻机领域，目前荷兰的艾司摩尔(ASML) 可谓是龙头老大。而在三十多年前，当时还落后竞争对手的ASML，如何能成为今天光刻机市场上的霸主？其关键就在三十年前推出的PAS 5500身上。
ASML 表示，1991 年ASML 首部PAS 5500 机台完成出货之后，直到今天，PAS 5500 仍是ASML 最长青的光刻设备，也是ASML 用途最广泛的产品线之一。当时在PAS 5500 出货之前，ASML在半导体光刻机市场仅位居第三，远落于竞争对首Nikon 和Canon 。然而，PAS 5500 的成功，很快的让ASML 晋升第二大光刻设备商，并为ASML 日后在光刻机录上龙头宝座打下基础。
资料显示，PAS 5500的命名源自1970 年代，是当时飞利浦的研究员开始实验一系列研发的设备，而PAS 5500 的全名“the Philips Automatic Stepper (PAS)”。而为了纪念这部机台的来源，也代表ASML 与飞利浦长期的合作关系，因此取名为PAS 5500。
ASML 强调，问世的30 年后，每台PAS 5500 都在半导体制程中拥有自己的故事。举例来说，已经25 岁的PAS 5500/275，多年来被应用在存储(Memory) 以及RF 模组(Radio Frequency Module) 制程中，但它最近刚被翻修，并重新被销售到VR 技术制程的最前线，展开新的工作。仅管PAS 5500 已经不再被应用在最先进的制程中，但它们具备成本低、体积小、简单以及稳定性，在许多利基(Niche) 应用市场中是首选设备。为了持续支持使用这部机台的客户，当前ASML 已将相关的客户支持服务期限延后至2030 年以后。
编辑：芯智讯-林子 来源：technews
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