投资30亿美元！英特尔扩建俄勒冈D1X晶圆厂，将部署High-NA EUV光刻机

4月12日消息，英特尔宣布投资30亿美元扩建俄勒冈州D1X 晶圆厂。英特尔CEO基辛格（Pat Gelsinger）强调，扩建计划将为俄勒冈州带来积极影响，并重申致力于半导体研发（R&D）领域的领导地位。

据介绍，此次D1X-Mod3扩建计划，将斥资30 亿美元，计划完成后将使英特尔俄勒冈总投金额超过520 亿美元。

英特尔资深副总裁纳塔拉姜（Sanjay Natarajan）表示，位于奥勒冈州希尔斯伯勒市、拥有1.4万名员工的D1X厂区，此次D1X-Mod3将扩建27万平方英尺，占地扩大约20％。

D1X厂是英特尔的主要开发晶圆厂，这次扩建第三模组，为该厂2010年动工以来第二次扩建。在完成扩厂后，将部署ASML新一代High-NA EUV光刻机TWINSCAN EXE:5200。因为该设备的体积庞大，但D1X厂原本的天花板太低，地板也难以支撑该设备的重量，所以才需要对D1X厂进行扩建。

英特尔预计，2024年才能收到新一代的High-NA EUV光刻机，但已着手提前准备。该公司从去年8月已开始迁移关键工具到D1X厂，之后设备搬迁预料也需要一年时间。

根据英特尔先前公布的制程节点进展规划，Intel 7制程从2021年的Alder Lake用户端产品，及今年第1季量产的Sapphire Rapids资料中心产品开始面市。Intel 4制程全面使用EUV光刻技术，将于2022年下半量产，2023年开始出货。Intel 3制程，将于2023下半年准备开始生产。Intel 20A制程（相当于2nm）预计将从2024年逐步量产，高通已预订成为这项技术的客户，Intel 18A制程原预计于2025年初问世，近期英特尔已经宣布提前半年到2024年下半年。

资料显示，英特尔在俄勒冈州的投资历史超过50 年，是英特尔最大半导体设施和人才集中地。首府波特兰以西20 英里的Hillsboro，英特尔当地共有四个园区，员工约22,000 名。2019 年资料显示，英特尔对俄勒冈州的经济影响包括员工、庞大本地承包商和供应商网路、资本投资和其他下游企业，英特尔年度总影响超过105,000 个工作职缺，且贡献超过100 亿美元劳动收入和190 亿美元国内生产总值。

编辑：芯智讯-林子