SK海力士工厂发生氢氟酸泄漏,3名工人受伤!官方称不会影响生产
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2021-04-09 07:36
据了解,氢氟酸是氟化氢气体的水溶液,清澈,无色,有极强的腐蚀性和剧烈刺激性气味,能强烈地腐蚀金属、玻璃和含硅的物体,在半导体行业中,氢氟酸用于除去硅表面的氧化物。
此次发生氢氟酸泄露事故的M16工厂,是SK海力士刚刚建成的一座新工厂。
SK海力士官网的信息显示,M16工厂在2018年的11月动工,工厂投资3.5万亿韩元,历时两年建成,在今年2月1日举行了竣工典礼。M16工厂建成之后,将主要用于生产DRAM产品,作为SK海力士面向未来的一座重要工厂,M16工厂还引进了极紫外(EUV)光刻机,这是SK海力士首次引进这一类设备。预计今年下半年起生产第四代1α纳米级DRAM产品。未来SK海力士将提高EUV设备利用率,进一步增强存储器半导体相关的先进工程技术领导力。
SK海力士对此事故回应称,泄露事故于泄露当日已处理妥善,只是少量泄露,三位工作人员接触时间很短只是轻伤,对工厂的生产经营状况没有影响。
编辑:芯智讯-林子
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