光刻机研究：从0到1，星辰大海
智能计算芯世界
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· 2023-09-21
光刻机是芯片制造中最复杂、最昂贵的设备。芯片制造可以包括多个工艺，如初步氧化、涂光刻胶、曝光、显影、刻蚀、离子注入。这个过程需要用到的设备种类繁多，包括氧化炉、涂胶显影机、光刻机、薄膜沉积设备、刻蚀机、离子注入机、抛光设备、清洗设备和检测设备等。
在整个半导体芯片制造过程中，光刻是最复杂工艺，光刻工艺的费用约占芯片制造成本的1/3左右，耗费时间占比约为40-50%，光刻工艺所需的光刻机是最贵的半导体设备。
光刻机可分为前道光刻机和后道光刻机。光刻机既可以用在前道工艺，也可以用在后道工艺，前道光刻机用于芯片的制造，曝光工艺极其复杂，后道光刻机主要用于封装测试，实现高性能的先进封装，技术难度相对较小。
下载链接：
1、全球及中国光刻机行业分析报告 2、光刻机：国产之路道阻且长，中国蔡司未来可期 3、详解光刻机：半导体制造业皇冠上的明珠 4、光刻机行业研究框架
5、光刻机行业研究报告：从0到1，星辰大海
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